二手 KLA / TENCOR Spectra CD-XT #293824131 待售
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ID: 293824131
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
Scatterometry metrology tool, 12"
Inline CD and profile measurements
2009 vintage.
KLA/TENCOR Spectra CD-XT是一種用於先進半導體制造的掩模和晶圓檢測設備。它結合了優越的邊緣分辨率、1-2.5納米幾何測量和超低噪聲測量能力,使半導體制造商能夠快速識別和消除其生產線中的缺陷,將成本降至最低,提高產量和吞吐量。KLA Spectra CD-XT設計用於檢查從光掩模板到晶片的一系列基板。配有集成晶片邊緣檢測系統和精密光學測量單元,用於詳細缺陷和使用分析。這意味著,即使晶片和掩碼上的最小缺陷(最大1 nm),機器也能檢測到可能影響產量的最小缺陷。TENCOR SPECTRA CD XT采用強大的圖像自動對焦和自動調諧功能進行了優化,使用戶可以快速準確地檢查掩碼和晶片。它還利用高精度光學工具集中於掃描粒子,從而能夠檢測這兩種產品的微觀缺陷。此外,該資產還具有大型可調紫外線照明模型和低噪聲CCD成像儀,可保持最佳分辨率,有助於降低總體測量中的噪聲。該設備還具有先進的缺陷分類功能,允許用戶區分真實警報和錯誤警報,從而優化總體產量。此外,它還包括功能強大的可視化軟件,可簡化和加快缺陷審查和分析,同時監控產品和過程的可變性。最後,TENCOR Spectra CD-XT得到了KLA著名客戶支持的支持,KLA提供了出色的服務和技術幫助,以確保系統達到最佳狀態並持續很長時間。對於任何希望確保最高質量和產量的半導體制造商來說,這一單元是一個理想的選擇,同時可以顯著節省成本。
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