二手 KLA / TENCOR Spectra CD-XT #9308718 待售

KLA/TENCOR Spectra CD-XT是為半導體制造而設計的綜合性掩模和晶圓檢測設備。該系統包含晶片級、光源和傳感器封裝,用於高分辨率成像,用於檢測掩模和晶片上的缺陷。該單元的核心是KLA高性能逐行激光照明，能夠對亞納米分辨率的缺陷進行高分辨率的實時分析。該機針對先進技術進行了優化，如多層檢測、金屬線檢測、工藝控制等。自動檢查過程有助於提高流程的收斂度和生產率,同時縮短周期時間。該工具有一個標準配置，由四個攝像頭和兩個激光光源組成，可提供晶圓的廣泛覆蓋。該資產最多可容納8個攝像頭和3個激光光源。該模型有兩種特征提取算法,可用於檢查1-D、2-D或3-D曲面,以及包括類型、位置和大小在內的缺陷特征。KLA Spectra CD-XT還提供高級計量和缺陷分類功能，如特征匹配和切片。創新的特征提取功能使人們能夠檢查亞波長結構，包括為3D結構建造的結構，從而能夠更準確地識別模式缺陷。此外，設備還具有綜合分析和報告環境，包括數據分析、質量控制和過程監控。這允許用戶監視、控制和分析流程流,並快速識別和解決問題。該系統包括一個用戶友好的界面，允許用戶輕松地控制單元，並對晶片應用進程。TENCOR SPECTRA CD XT是一款功能強大的掩模和晶圓檢測機，可容納多種工藝和技術。通過提供先進的計量和缺陷分類，該工具旨在提高檢測缺陷的性能和準確性。這有助於確保更高的產量和質量的集成半導體電路。