二手 KLA / TENCOR Spectra CD-XTS+ #9263050 待售

KLA/TENCOR Spectra CD-XTS+是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體制造商測量晶圓或模具上的物理參數。當測試通過用戶界面進行時,通過向用戶提供反饋,進一步實現計量,從而在晶圓測試和測量過程中實現實時流程調整。KLA Spectra CD-XTS+包括電子束柱、光學傳感器、軟件控制等幾個集成組件，從測試的半導體特性獲取高分辨率圖像和詳細的物理參數。柱中的光束偏轉由一組X-Y坐標控制柱控制，該柱還與功能強大的數據采集處理器（DAP）集成在一起，允許非常快速的數據捕獲。柱的X-Y運動允許在極小面積的晶片或模具表面以高分辨率測試物理參數。TENCOR Spectra CD-XTS+光學系統包括一個CCD相機，它捕獲測試區域的圖像，然後再送到處理單元。該處理單元由一臺運行專用軟件算法的功能強大的計算機組成，該計算機將獲取的原始圖像夾在一個統一的數據圖中，以便進一步分析。使用此數據圖,軟件可以使用幾種專用算法來計算各種關鍵測量值,並確定性能隨時間推移的趨勢。這樣就可以對潛在的工藝變化或不一致情況進行高水平的質量控制和詳細分析，否則常規測試方法可能會忽略這些變化或不一致之處。此外,Spectra CD-XTS+還包括一個專用軟件驅動的激光線路掃描（LLS）,用於在空間上定位晶圓上的結構,並捕獲其詳細的物理參數,如厚度、傾斜角、深度或結構之間的距離。最後,它還包括一個完全可編程的檢查單元,可以快速識別和報告任何缺陷,從而使用戶能夠快速采取糾正措施或啟動流程優化。總體而言,KLA/TENCOR Spectra CD-XTS+是一臺功能強大、用途廣泛的晶圓測試和計量機器,能夠提供一整套詳細的物理參數,同時結合反饋以改進過程控制。KLA Spectra CD-XTS+憑借其先進的光束控制、檢測和數據處理能力相結合，是任何半導體制造工藝的絕佳選擇。