二手 KLA / TENCOR Spectra CD #9248732 待售

KLA/TENCOR Spectra CD是一種由KLA創造的掩模和晶圓檢測設備。它旨在快速準確地檢測掩模和晶片中的缺陷，從而能夠高效制造集成電子電路。KLA Spectra CD系統使用全場檢測來識別和分析光掩模和晶圓表面的缺陷。全場檢查提供了被檢查表面的極其詳細的圖像。它還能夠檢測平面缺陷和三維表面不規則性。該裝置能夠從不同的照明角度捕捉圖像，進一步提高缺陷檢測精度。TENCOR SPECTRACD可以處理多種基材，包括矽片、硬接觸掩模以及聚酰亞胺或PDMS等有機材料。為達到最高水平的輔助檢測，該機采用散射法、光譜法和散射成像相結合的方法，對晶圓或掩模表面進行高精度分析。該工具能夠檢測尺寸小至40 nm且對比度差小於.003的缺陷。除了缺陷檢測能力外，SPECTRACD資產還能夠分析晶圓或掩模表面的整體精度和形狀。此過程有助於確保所生產的掩模和晶片質量最高,並且在用作集成電路的一部分時能夠達到最佳性能。該模型還能夠分析底物和頂層之間的折射率差異，幫助識別否則會被忽視的缺陷。它還能夠檢查多層的纖薄材料,從而能夠檢測掩碼或晶片中否則無法檢測到的錯誤。KLA/TENCOR SPECTRACD設備極易使用，可以快速設置並準備使用。該系統還包括一套高級分析工具，使用戶能夠快速準確地分析檢查結果。KLA SPECTRACD單元已被廣泛用於確保集成電路的高效生產。它被廣泛認為是最可靠和最全面的面膜和晶圓檢驗系統之一，有助於確保高質量的芯片以及時和具有成本效益的方式生產。