二手 KLA / TENCOR Spectra CD #9251386 待售

KLA/TENCOR Spectra CD是一種掩模和晶圓檢測設備，提供最高級別的自動化、集成缺陷檢測和缺陷分類。它提供三維表面和叠加計量，缺陷成像和審查，抵抗剖析和系統缺陷分類。該系統旨在幫助掩模車間和集成設備制造商（IDM）提高產量,同時最大限度地減少檢查掩模和晶片所需的人力資源。KLA Spectra CD單元可實現晶片或掩模的精確、自動對準,從而獲得最佳效果。此對齊方式包括自動縫制多個圖像,以確保能夠準確識別缺陷,無論其確切位置如何。此外，機器可以在非常低的閾值下檢測和分類缺陷，允許在其分析中達到最高精度。該工具使用基於視覺的自動檢測和三維分析技術來測量和分類掩模和晶圓表面的缺陷。利用先進的濾波器和自動化工具,資產可以快速識別掩模和晶圓表面上的顆粒、空隙和線缺陷。一旦發現缺陷，就可以將其分為不同的特征類型，如剝離和變形等，從而對給定基板上的缺陷類型有完整的了解。此外,TENCOR SPECTRACD模型還提供自動抗蝕劑輪廓測量和比較功能。這允許用戶測量和比較不同層的厚度，從而提供無價的信息來優化流程和提高產量。該設備還配備了先進的柔性成像技術，包括epi、暗場和明場能力，使用戶能夠真實地直觀地表示面具和晶片上正在發生的事情。KLA SPECTRACD系統與其他系統集成，如操作和過程控制系統，以確保更高水平的自動化和一致性。它還支持完整的缺陷歷史跟蹤和報告,以便隨著時間的推移跟蹤過程結果,進一步提高產量優化。總體而言，SPECTRACD是一個令人印象深刻且功能強大的掩模和晶圓檢測裝置。憑借其高度先進和自動化的基於視覺的檢測和3D分析功能,以及靈活的成像技術,它提供了盡可能高的產量改進和缺陷識別。此外,它的自動對齊、缺陷分類、抗輪廓測量和集成功能使其成為尋求提高產量和一致性的任何掩模公司或IDM的理想選擇。