二手 KLA / TENCOR STARlight SL3 URSA #9067571 待售

KLA/TENCOR STARlight SL3 URSA Mask&Wafer Inspection Equipment是由半導體設備制造商KLA制造的超分辨率成像和分析系統。該單元設計用於對晶圓、掩模和其他半導體元件進行可靠、精確、高分辨率的檢測和分析。KLA STARlight SL3 URSA是以前STARlight平臺的增強版本，具有改進的光學性能。其光學機器提供0.6微米的最大分辨率，使得能夠在大面積上進行次埃表面高度測量。它還具有最先進的照明工具，提供高強度的均勻照明，以改善對比度和減少噪音。該資產具有集成的模塊化磁頭。這允許根據客戶的要求進行多種配置和靈活的設置。這個模塊化的頭還包括一個先進的實時內切模型，具有面向用戶的界面。這種內切設備可以測量各種晶圓和掩模的缺陷，由此產生的圖像可以從不同角度觀看。該系統的集成分析軟件用戶友好，使用方便。它能夠分析各種結構和口罩，例如所謂的「反向打印」特征。該軟件還允許從一個公共數據庫分析多材料成像系統，如Profilometry和Multilaer inspection。TENCOR STARlight SL3 URSA還配備了強大的顯微鏡設備。它配有分辨率為0.2微米的大功率物鏡，適合檢查遮罩層接口或不規則性。綜合面罩檢測機還能夠檢測諸如顆粒汙染、挖掘和殘留等缺陷。STARlight SL3 URSA是一種易於設置和操作的緊湊工具。它具有堅固的機械設計,以及可可靠運行的無震平臺。它還附帶了一系列高級自動化工具，如自動聚焦能力、可編程掃描和多重參數調整。KLA/TENCOR STARlight SL3 URSA是半導體行業高效、經濟高效的晶圓和掩模檢測資產。其出色的光學性能和強大的軟件使其成為高精度檢測的絕佳選擇。它可靠可靠，確保準確可靠的結果。