二手 KLA / TENCOR Starlight SL3 UV #293815985 待售

KLA/TENCOR Starlight SL3 UV是一種功能強大的高科技晶圓和掩模檢測設備,用於成像和自動檢測圖樣基板層。它具有5微米的高分辨率成像能力和高達每小時30晶圓的自動亮場/暗場檢查速度。KLA Starlight SL3 UV提供了一套強大的圖像采集技術,充分利用帶電耦合器件（CCD）相機和先進照明技術的最大潛力。它包括同時的明場和暗場成像，用於檢測和測量小缺陷、缺陷和不均勻性。利用其先進的成像技術，系統創建了不同布局層和模式結構的系統概述，讓用戶快速分析比較。在檢查能力方面，TENCOR Starlight SL3 UV通過自動光學探測（AOP）提供了先進的自動光學檢查（AOI）能力。通過這種AOP技術，用戶可以以不同的細節和分辨率級別定義模式的區域，然後快速掃描這些區域進行深入的分析和比較。該單元還可以生成帶有統計分析的詳細掩碼報告，以供進一步分析。在性能方面,Starlight SL3 UV極其可靠,並提供令人印象深刻的一系列功能。其先進的照明技術可確保高對比度和均勻的照明，從而獲得準確可靠的結果。憑借高速掃描能力，機器可以快速檢測到小缺陷和變化。此外,它還提供多種功能,包括高分辨率成像、自動暗場和亮場成像、自動光學探測（AOP）技術以及先進的統計分析。最後，KLA/TENCOR Starlight SL3 UV提供了必要的工具和功能，以快速檢查和比較圖案層。其先進的成像和自動化技術使用戶能夠檢測和測量小缺陷、缺陷和非統一性。此外，它的高分辨率成像、先進的照明、自動光學探測以及帶有統計分析的詳細報告確保了準確可靠的結果。