二手 KLA / TENCOR Starlight SL3 #293815984 待售

KLA/TENCOR Starlight SL3是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,可提供無與倫比的精度和吞吐量,滿足廣泛的應用要求。該系統結合了先進的光學、晶片生產和缺陷檢測技術,在生產和研發環境中提供卓越的性能和可靠性。KLA Starlight SL3單元具有三級光路-前端和兩個中間級，提供更高的靈敏度、效率和動態範圍。光路包括一臺高精度的光學對準和傳感機器，可準確定位和檢查掩模和晶片表面的缺陷。該工具包括具有磁性線性和旋轉編碼器的雙彎曲級以及動態自動聚焦技術。為了有效檢測缺陷，TENCOR Starlight SL3資產采用了最先進的圖像處理算法和高分辨率頻譜濾波器。該算法最大限度地提高了圖像質量，最大限度地減少了噪聲，從而提高了準確度和重復性。該模型可容納多達2000萬像素的分辨率圖像，可用於檢測、測量和分析掩模和晶圓表面的缺陷。該設備的自動化缺陷檢測和分析功能允許對掩模和晶片缺陷進行快速而可靠的分析。Starlight SL3的軟件將數據解釋為易於理解的檢測和識別缺陷的圖形顯示。該界面為自動缺陷分析提供了簡化的工作流,從而減少了周期時間、增加了吞吐量並減少了缺陷審查時間。KLA/TENCOR Starlight SL3系統采用低功耗架構構建,平均耗電量僅為19瓦。該單元具有五分鐘的定向和調整時間，以及令人印象深刻的600 ms冷卻時間。此外,先進的硬件和軟件集成確保了與大多數行業標準制造工具的最佳機器性能和兼容性。KLA Starlight SL3是任何需要精確有效的掩模和晶片檢查的應用的絕佳選擇。其先進的光學、晶片生產、缺陷檢測和圖像處理功能可實現對掩模和晶片的卓越性能和可靠的分析。因此,該工具的低功耗體系結構和行業標準兼容性使其非常適合各種檢查任務。