二手 KLA / TENCOR STARlight SL437 #9115268 待售

KLA/TENCOR STARlight SL437是一種先進的高端掩模和晶圓檢測設備,旨在以卓越的速度執行準確可靠的圖像。該系統采用先進的光學單元，具有全方位的數字成像選項和強大的圖像分析能力，以確保檢查過程的準確性和可靠性。SL437的模塊化設計為每個客戶的定制需求提供了靈活性。該機器的成像功能基於雙層激光和25 nm狹縫孔徑光學器件,使其能夠查看最大的視場以進行晶圓和掩模檢查。SL437上的成像傳感器基於800萬像素CMOS全畫幅成像傳感器和1.8萬像素16位彩色CCD成像傳感器。有了這些,SL437可以以每秒320張圖像的速度進行高精度的檢查。SL437的高級圖像分析功能使其能夠高可靠性地檢測和定位缺陷。缺陷檢測算法基於對缺陷的高級決策分析，實現了特別準確可靠的檢測。此工具包括強大的模式匹配功能,使用戶能夠檢測特定類別的缺陷,如橋接或使用先前的模式打開。該SL437設計用於具有縮放能力和零校準的多班作業。縮放設置使用戶能夠自動將檢查參數調整為各種類型的晶片或掩碼,從而確保可重復檢查。此外,利用虛擬示例方法,SL437資產的用戶可以從單個圖像調查整個晶圓或掩碼,從而實現快速的缺陷檢測過程。KLA STARlight SL437模型可提供高性能和可靠性,用於晶圓和掩模檢查。利用先進的數字成像光學設備，該系統可進行每秒高達320張圖像的檢測，輕松匹配現代生產設施的吞吐量。圖像分析算法提供了強大的模式匹配和缺陷定位功能。此外,SL437還具有內置的縮放和虛擬樣本功能,使用戶能夠將檢查性能快速擴展到多班操作。