二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #293594484 待售
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KLA/TENCOR SP1 Classic是一種為半導體工業設計的掩模和晶圓檢測設備。它是一個全自動檢測平臺，利用先進的成像和光學計量技術檢查光掩模和晶片的缺陷。該系統使用兩個獨立的通道來實現晶片和掩模的同時檢查,從而實現更快的檢查過程。KLA SP1 Classic具有先進的成像單元,利用高分辨率數碼CCD相機和先進的光學技術對晶圓和掩模進行成像。該機器設計用於檢測各種缺陷,從缺少模具、工藝缺陷和針孔,到更清晰的特征（如線寬和接近效果）。該成像工具與高級分析軟件相結合，用於識別和分類缺陷。軟件還可以檢測復雜的模式和形狀,以識別更難以檢測的特征。資產配備了樣品處理的多個自動化階段，包括一個可以檢測電氣缺陷的專有電氣映射模型。設備還包括用於自動樣品處理和裝載的輸送機系統，以及用於快速晶片檢查的綜合晶片運輸裝置。集成的運動控制機使攝像機和采樣臺都能實現精確、可重復的運動，從而實現高精度和可重復性。用戶界面是通過直觀的圖形環境提供的,它可以輕松控制工具參數和功能,以及訪問詳細的資產信息和報告。此外,KLA Remote Service還提供遠程支持和診斷,以簡化用戶體驗。該模型能夠每小時檢查100,000多個晶片，使其成為檢查各種缺陷的強大而可靠的工具。該設備還被設計為易於集成到現有的半導體工藝中，使其成為各種應用的理想選擇。TENCOR SP 1 CLASSIC是任何需要快速、準確和可靠地檢查晶片和掩模的任務的理想選擇。
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