二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9211403 待售

KLA/TENCOR SP1 Classic是為生產和研發應用而設計的掩模和晶圓檢測設備。它為要求最苛刻的缺陷檢查應用提供了高分辨率的直接視圖檢查、自動缺陷審查和光學在線計量的組合。SP1系統提供了可調成像設計，允許快速準確地獲取大小、放大倍率和重復率各異的圖像。成像設計包括全方位的數字圖像和軟件組件，如先進的光度、輻射和圖樣識別算法，以及一個多點照明單元。SP1機還提供高達1.0微米間距的高分辨率成像，足以查看臨界尺寸（CD）結構，以及成像低放大倍數缺陷。此外,SP1工具能夠以高達每秒2000幀的速率捕獲圖像,並且可以配置為在24小時內對整個晶圓成像。SP1資產的成像設計得到了前沿缺陷審查模型的補充,該模型采用了強大的視覺算法、復雜的數據分析工具和復雜的自動分類設備。這一缺陷審查系統有助於對各種缺陷類型進行自動檢查，包括過程引起的顆粒、開口/溝槽缺陷和PSM。缺陷查看單元還可以配置為合並用戶定義的測試，如自動BGA連接測試，或簡單的像素比較測試。此外,SP1機器采用集成的光學在線計量工具,可全面測量晶圓輪廓形式及其相關的臨界尺寸。此計量資產能夠測量各種關鍵尺寸,包括覆蓋、線寬和間距、臨界區域大小、臨界層厚度和線緣粗糙度。最後，SP1模型還包括一套高級軟件工具，簡化了圖像數據的采集、處理和存儲。這些軟件工具包括詳細的缺陷分類分析、自動缺陷標記和修復功能,以及復雜的光度和輻射成像選項。總體而言,KLA SP1 Classic是一種先進的掩模和晶圓檢查設備,為各種缺陷檢查應用程序提供了廣泛的功能。SP1設備具有可調成像設計、高分辨率成像、自動缺陷審查系統和光學在線計量功能,非常適合需要全面缺陷檢查解決方案的生產和研究環境。