二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9410848 待售

KLA/TENCOR SP1 Classic是一種通用的高精度掩模和晶圓檢測設備,設計用於半導體器件制造中關鍵工藝步驟的過程控制、產量改進和缺陷監控。該系統提供快速、自動化的數據驅動運行時分析產量、流程性能和收益趨勢,從而能夠快速、準確地做出關鍵決策。該單元與流程工具和生產數據庫集成,以實現更高的生產率,從而允許最終用戶優化流程並縮短其產品周期。KLA SP1 Classic在經過光刻、蝕刻、沈積和晶片塗層等各種生產步驟時，使用先進的成像技術檢查晶片和掩模。它包括一個彩色相機，它可以捕捉多個圖像的表面高達10,000倍的放大倍率。這使得機器能夠檢測到最小的缺陷,否則這些缺陷可能是無法檢測到的。TENCOR SP 1 CLASSIC還有一個嵌入式AutoFocus工具，允許精確測量晶圓和掩模。此資產可以測量地形、覆蓋檢查和對準、電阻率剖面等。此外，該模型能夠識別不同大小的重復結構和結構，使其能夠檢測到傳統成像設備可能難以發現的晶圓缺陷。SP1 Classic還提供了一個軟件平臺,用於捕獲、分析和比較從掩碼和晶圓檢查中收集的數據。該平臺允許用戶通過具有自動缺陷檢測、三維顯示、高分辨率圖像增強、頻譜分析和高級數據挖掘算法等高級功能的直觀用戶界面訪問所獲取的圖像。軟件可根據特定需求定制和定制,確保數據始終準確和最新。最後，KLA/TENCOR SP1 CLASSIC是一種有效可靠的檢測系統，具有很高的精度和精度。通過與其他過程工具集成,此單元允許最終用戶實現提高的產量和過程效率,從而降低產品周期和生產成本。