二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1-TBI #293760176 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP1-TBI是專門為先進半導體技術節點設計的前沿掩模和晶圓檢測設備，如10納米（nm）及以下。該系統結合了卓越的缺陷檢測能力和業界領先的吞吐量，以確保最具挑戰性的掩模和晶圓檢測成為可能。該單元是一個「一體」解決方案,包括功能強大的Surfscan掃描頭、表面映射顯微鏡、獲得專利的清潔過程、光學對準工具以及控制和接口軟件,以最大限度地提高性能。該機提供卓越的表面成像和缺陷檢測，以滿足最具挑戰性的掩模和晶圓檢測要求。Surfscan掃描頭是一種精密設計的儀器，設計用於要求苛刻的掩模和晶圓檢查任務。它提供高吞吐量、低延遲和低噪聲成像。它還提供卓越的分辨率、大視野和自動缺陷識別技術。掃描頭能夠掃描和測量光掩模結構和晶片。表面映射顯微鏡允許對晶圓和光掩模上的測試結構進行詳細的審查和分析。顯微鏡提供了一個大的視場和優越的放大，能夠快速檢測汙染和缺陷。顯微鏡棱鏡還允許進行詳細的模式識別和圖像處理，以提高缺陷檢測精度。獲得專利的清潔工藝允許去除光掩模或晶片表面的小缺陷，而不會損壞生產模式。這些過程涉及精確的清潔技術和使用先進的粘合材料，這些材料可以清潔表面而不會損壞特征或破壞整個生產模式。該工具還包括專門為提高資產性能而設計的光學對準工具。這些工具使光學器件能夠精確對齊,以確保對模型進行正確校準,並針對所有操作進行最佳對齊。控制和界面軟件提供了一個全面的設備界面，允許用戶控制系統及其流程。界面還提供對實時狀態信息和數據的訪問,為用戶提供有關設備性能的最詳細和最新的信息。KLA Surfscan SP1-TBI是最具挑戰性應用的終極面膜和晶圓檢測機。該工具具有強大、高通量的掃描儀頭、顯微鏡棱鏡、清潔過程以及控制和接口軟件,是一個全面的解決方案,可最大限度地提高性能並提供最高級別的芯片產量和質量。