二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1-TBI #293814743 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP1-TBI是一種用於檢查用於制造集成電路（IC）組件的半導體晶片和掩碼質量的掩模和晶片檢測設備。該系統使用專有的超精確目標以及先進的光學和高速成像技術來檢測晶圓或掩模材料的關鍵層中的小缺陷和雜質。KLA Surfscan SP1-TBI可以快速準確地檢查晶片和掩碼,而無需手動抽查。設備會自動掃描整個晶片或掩碼是否有缺陷,並可以隔離和測量最小尺寸為0.5微米的單個特征。Surfscan避免了與手動檢查程序相關的人為錯誤,將晶片或掩碼的處理成本從2小時降低到10分鐘。該機器包含一個精密的機器人級，直接連接到晶片上，引導它進入高分辨率檢查的目標。該工具的光學器件的最小分辨率可降至0.5微米,從而檢測到其他光學檢查系統未發現的缺陷。此外，資產配備了一個綜合粒子計數器，有助於根據定量測量將缺陷分為三類。TENCOR Surfscan SP1-TBI提供了包括集成暗室在內的多項附加功能，使操作員可以在紫外線下查看晶圓或掩模；這有助於檢測可見光譜中不可見的小劃痕或微粒。該模型還有一個校準模塊，使用戶能夠在每次檢查前對光學器件進行完美校準和對準。總體而言，Surfscan SP1-TBI是一種先進的面膜和晶片檢查設備，能夠高速檢查晶片和面膜。該系統利用極其精確的光學和精密的成像技術,能夠檢測材料層中的小缺陷和雜質,大大減少了耗時的手動檢查,並提供了高精度的結果。