二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 XP #293609839 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2 XP是一種用於檢查加工過的半導體晶片和掩模的掩模和晶片檢驗設備,用於檢測任何缺陷、汙染或不規則性。它通過使用其先進的矽成像、缺陷審查和分析軟件提供高級缺陷檢測功能。采用最先進的技術,通過將軟件、光學設備和硬件全部集成在一起,用戶能夠在整個生產過程中有效地實現更高的產量和可靠性。KLA Surfscan SP2 XP系統為用戶提供具有高級缺陷檢測功能的一系列功能,如背面檢查、彩色成像、顯示和判斷缺陷分類、對比分類、子像素充電和計算,以及完全集成的缺陷審查單元。這使用戶能夠檢測和查看晶片正面和背面的所有缺陷以及2D和3D切片中的掩碼。該機器每個周期最多可容納8張晶片打印,並具有高功率X射線源,通過其自動步進和重復功能提供用戶友好的操作,從而實現統一的圖像采集,並提高了數據傳輸能力。此外，該工具采用明場、暗場和近場掃描模式，使用戶能夠獲得最高的光學分辨率，同時以最小的耀斑獲取高對比度圖像。TENCOR Surfscan SP2 XP資產的掩碼和晶圓檢測能力通過其多級激光掃描模型與平面內掃描器相結合，進一步增強。通過將這些技術集成到設備中，用戶能夠捕獲非常精細的細節，檢測晶圓表面的潛在汙染或不規則性，並通過全自動作業準備和分類快速識別缺陷。此外，該系統還有一個綜合環境分析和缺陷故障分析功能，這是土地檢查軟件包的一部分，它提供了關於樣本被檢查的環境的詳細信息，並提供數據分析和報告整個檢查過程中發現的缺陷。綜上所述,Surfscan SP2 XP為用戶提供了具有強大特性和功能的頂級晶片和掩碼檢測單元,使他們能夠高效、準確地檢測和查看晶片正面和背面的缺陷以及具有高光學分辨率的掩碼。這臺機器為用戶提供了最高水平的檢測能力，其中包含的功能使其非常適合高質量的晶圓和掩模制造。