二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 XP #9221536 待售
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已售出
ID: 9221536
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Particle measurement system, 12"
Sensitivity modes:
Standard throughput inspection mode
High throughput inspection mode
High sensitivity inspection mode
Advanced illumination optics supporting the following mode(s):
Normal illumination
Oblique illumination
Includes:
UV Laser
Defect map and histogram with zoom
iMicroView measurement capability
SURFimage
Real-time defect classification (RTDC)
Microsoft Windows XP operating system
Book on board
Soft copy of operations manuals
Puck handling: 8"/12"
Equipped with powder coat painted panels
12" Phoenix dual FIMS vacuum wafer handler (PP) included
Secondary UI for bulkhead installation
Configured for MCCB (US/EU) power inlet
Configured for IC/OEM Mfg surf quality recipe
STD Throughput inspection mode
High throughput inspect mode
Optical filter
Enhanced XY coordinates enabled:
Standard classification
LPD-N classification
LPD-ES classification
Grading and sorting
20°
40°
Rough films
Haze enabled
Haze normalization enabled
Haze analysis enabled
Haze line classification enabled
IDM SP2
2mm Edge exclusion
4 Color light tower (RYGB)
GEM / SECS & HSMS
T System (High speed messaging system)
E87 Carrier management services (Based on E39)
Based on E39 object services
E40 Process job management
E94 Control job management
E90 Substrate
Tracking
(2) AdvanTag radio frequency (RF) carrier ID readers
Identifies the name of the carrier (FOUP)
Intended for use with phoenix handler and Isoport load ports
One reader required for each FOUP load port
2006 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 XP是一種先進的晶圓檢測設備，設計用於高精度、高精度的掩模檢測和晶圓表面表征。它結合了自適應光學、低噪聲成像、自動化測量算法和強大的計算能力，為晶圓表征和缺陷分析提供了一個全面的平臺。KLA Surfscan SP2 XP具有高達12mm的大視場（FOV）和優於1µm的高光學分辨率，使其能夠精確測量甚至亞微米的缺陷。它有能力每分鐘分析多達150個晶圓圖像，其自動測量結合了嚴密的點檢測、區域掃描和數據驅動的濾波和像素分析。它內置的圖像融合技術使系統能夠準確比較來自多個傳感器的數據，確保了最高精度。該單元配備了改進的成像軟件、先進的圖像分析庫和強大的硬件設計，使其能夠有效檢測晶圓表面的汙染、缺陷和變化。它還包括一個光源，可以調整以在紅外線、可見光譜或紫外線光譜（UV）中運行，使其能夠檢查高反射率的表面以及嵌入的特征。機器的多級缺陷檢測和分析功能使它不僅能夠檢測顆粒汙染物，而且能夠評估其組成、大小、形狀和方向。此外,TENCOR Surfscan SP2 XP還提供了一種自動內聯處理和報告工具,可提供實時晶圓缺陷信息。數據分析和報告工具可幫助用戶快速識別故障趨勢並采取主動措施以提高產量。Surfscan SP2 XP具有先進的成像、高分辨率測量和堅固的硬件設計,是掩碼檢查和晶圓表面表征的理想平臺。它非常適合半導體生產、包裝和平板顯示行業，為高通量、高精度晶片和掩模檢測提供了完整的解決方案。
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