二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293602599 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一款高度先進的掩模和晶圓檢測設備。KLA Surfscan SP2是一個功能強大的工具,用於在設備制造過程的早期階段識別缺陷,從而能夠在進行更昂貴的處理之前采取糾正措施。TENCOR SURFSCAN SP 2先進的成像技術、照明以及計算強度很高的檢測和分析算法使其能夠檢測到太小而肉眼看不到的缺陷，或者可能被其他特征遮蔽或隱藏。這使操作員能夠準確識別缺陷,包括傳統的光學、電氣或聲學方法可能遺漏的缺陷。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2配備了同時使用亮場和偏振器成像技術的成像系統，以提供高級視覺檢查所需的詳細程度。它達到高達3.2µm的圖像分辨率，並提供清晰易解的插圖。此外,該單元還包含晶片和掩模檢查燈以及一套軟件工具,使操作員能夠測量、比較和分析晶片或掩模兩側的特征。KLA SURFSCAN SP 2的SPI算法，加上各種可選擇的照明設置，都配備了幫助檢測各種尺寸的邊、角和線缺陷，包括那些可能在運動上模糊的缺陷。SPI支持本地化圖像分析和測量,而設置提供了根據每臺設備的特定要求調整計算機的靈活性。晶圓和掩模檢查過程通過簡化數據收集和分析的各種自動化過程得到進一步加強。可以將工具設置為自動按照模板格式進行數據分析和設備檢查,包括選擇最適合檢查的部分、設置最合適的檢查設置以及提醒操作員註意缺陷的方法。SURFSCAN SP 2還有助於通過其在線系統傳輸和存儲數據,從而能夠快速校對和比較來自多個設備的結果。最後,該資產與行業標準面罩和晶圓生產系統完全兼容,以便於集成到現有的生產過程中。總體而言,Surfscan SP2是在設備制造過程的早期階段識別缺陷的絕佳工具。其先進的成像技術和精確的缺陷檢測能力為操作員提供了一個寶貴的工具，用於快速高效地檢查晶片和掩模。