二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293603304 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一種最先進的掩模和晶片檢測設備,旨在精確檢測半導體掩模和晶片表面的缺陷。它具有業界領先的光學、專有算法和高精度電子設備,可以快速識別和測量最具挑戰性的掩模和晶片缺陷。KLA Surfscan SP2系統結合了寬帶掃描成像（BSI）和邊緣對比成像（ECI）兩種互補檢測技術。BSI是一種高分辨率全場遠程中心成像技術，它以微觀分辨率捕獲晶圓或掩碼的整個2D圖像。它提供了對小特征缺陷的靈敏檢測，允許精確測量和識別具有復雜背景的模式。ECI通過利用小振動和/或橫向運動來精確測量超小型結構中的邊緣對比度,重點研究已確定的缺陷特征。這種技術允許精確定位和測量個別缺陷，並允許精確量化缺陷類型和大小。該單元的設計具有最大的靈活性,可配置用於各種應用,包括光電測量、CD-SEM和間隔器成像、臨界尺寸測量和缺陷檢查。全自動機器允許一致和高效的檢查過程,用戶可以自定義各種晶圓和掩模類型的缺陷檢測標準。TENCOR SURFSCAN SP 2提供高級成像和顯示功能,如高放大光學成像、本地化檢查和自動特征識別。它提供了具有復雜缺陷識別算法的動態缺陷檢測標準，允許用戶選擇最合適的檢查策略和自定義設置。通過自動缺陷分類、手動審查和模具級缺陷標記,該工具提供了高效而全面的檢查和缺陷審查過程。資產還具有旨在簡化缺陷檢測過程的各種功能,例如具有設備級數據收集功能的自動測量模型,以及自動缺陷跟蹤和檢查後分析功能。這些功能允許用戶縮短檢查周期並快速識別晶圓或掩模上的潛在缺陷。總之，TENCOR Surfscan SP2是為半導體行業人士設計的先進、通用的檢測設備。它提供了多種特性和功能,使其非常適合檢測和分析微小的掩模和晶片缺陷,允許用戶檢測和測量即使是最具挑戰性的半導體表面上的缺陷。