二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293606549 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是來自KLA Corporation的先進、自動化的掩模和晶圓檢測設備。該系統旨在確保制造先進電子設備的每一步都盡可能接近完美，為極其敏感和復雜的部件提供最大精度。該單元的核心是其ProTEG軟件，該軟件使用先進的二維成像技術來檢測模式到納米級的缺陷。其「多通道光譜成像」（MCSI）技術利用多光譜帶檢測超出常規光學系統極限的缺陷。它與先進的模式識別算法協同工作,以檢測最困難的缺陷,否則這些缺陷將被遺漏或未被發現。利用這一技術，SP2還對覆蓋層、臨界尺寸（CD）和電氣缺陷進行自動檢查。其獲得專利的暗場照明（DFI）技術確保檢測電路模式中極其微弱和狹窄的特征。通過分析電導率和電阻率，SP2可以識別潛在的電氣缺陷，包括橋接、短路和開路電路。SP2還配備了多種晶圓檢查和掩模檢查功能，包括ScanEtch Plus （SEP）和Wafer Edge Inspect （WEI）。SEP是改進關鍵和非關鍵基板加工的綜合多基板余量。WEI檢查晶圓的計量，以及各種類型的缺陷，如劃痕和汙染。除了組件之外,SP2還配備了內置的用戶界面,提供直觀的控制、監控和機器設置。用戶界面還允許在工具內定制掩碼和晶圓檢查策略，以及集成各種外部第三方自動化系統。綜上所述,KLA Surfscan SP2為用戶提供了最先進的自動掩碼和晶圓檢查解決方案。它具有多種創新特性和功能,非常適合各種加固、精密的制造環境。