二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293624108 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一種掩模和晶片檢測設備，設計用於快速準確地檢測掩模和晶片。該系統利用先進的光學和軟件來檢查晶圓邊緣和其他特征的均勻性和形狀。自動調色板允許晶片處理和運輸,具有獨特的校準單元,可確保以最精確的形式處理每個晶片。該機器還支持行業標準的掩碼到晶片傳輸,允許在處理大量掩碼時實現最佳操作。該工具的光學子系統是一個兩級配置，包括一個風冷脈沖氙氣照明源和一個掃描CCD相機。該資產的光學器件設計用於提供掩模和晶圓表面的高分辨率成像。照明設計采用了擴散器和窄角遮罩模型，以確保均勻的照明，而可選的反反射濾鏡則確保了正確的照明角度。設備的軟件套件設計用於檢測、分析和分級掩模和晶片中的缺陷。KLA Surfscan SP2利用一組算法來檢測和評分各種缺陷，如顆粒、腐蝕、劃痕和變形。該系統還提供了一個缺陷工具箱來定制設定點操作，以及統計過程控制（SPC）來分析掩碼和晶圓檢查過程的趨勢。TENCOR SURFSCAN SP 2單元提供了可擴展性和靈活性,以滿足各種應用程序的需求。可調光學機允許使用者調整視野，使小型和大型表面特徵都能夠偵測和檢查。該工具還包括晶片邊緣確定資產，在定位晶片進行檢查時提供額外的一層精度。SURFSCAN SP2是一種先進的掩模和晶圓檢測模型。其先進的光學、軟件套件和可擴展性使其成為掩碼和晶圓檢查應用的理想解決方案。該設備設計優越，能夠快速準確地檢測和分級各種缺陷，為用戶提供可靠準確的檢測結果。