二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293625532 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是為半導體制造而設計的先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統設計用於檢測半導體半導體晶片、掩模和光掩模，具有高精度和重復性。KLA Surfscan SP2單元能夠檢測100納米大小、空間分辨率小於1納米的缺陷。它配備了6軸運動機械手，使機器能夠同時檢查晶圓上的多個點。TENCOR SURFSCAN SP2工具利用多種影像感測技術來偵測各種半導體掩模和晶圓的缺陷。這些技術包括光場成像、暗場成像和光學顯微鏡。Brightfield成像用於檢測二進制掩碼和晶片，而darkfield成像用於暴露特征和故障隔離。光學顯微鏡允許對有圖樣的半導體晶片進行缺陷檢查。資產還配備了集成用戶界面，允許用戶輕松輸入探測參數，選擇測試參數，並為不同的圖像類型設置顯示範圍。該軟件還能夠自動調整不同圖像的測試參數以獲得更準確的結果。此外,該模型還包括一種查看模式,使用戶能夠手動檢查晶圓或掩碼的可疑區域。SURFSCAN SP 2設備利用六軸運動機械手快速高效地精確掃描晶圓或掩模的多個點。該系統還允許用戶在一次掃描中進行多次測量。此外，由於先進的空氣管理機器，該裝置的設計目的是盡量減少不同樣品之間的交叉汙染。KLA SURFSCAN SP 2工具設計為用戶友好,為用戶提供直觀的圖形用戶界面（GUI）。GUI使用戶可以輕松查看捕獲的圖像、設置警報和監視操作參數。資產還包括許多內置功能,使用戶能夠快速準確地分析缺陷,包括特征碼分析和分類、故障隔離以及高級缺陷分析。總體而言，KLA/TENCOR SURFSCAN SP2是一種先進的掩模和晶圓檢測模型，設計用於高精度和重復性。該設備利用多種圖像傳感技術來檢測空間分辨率小於1納米的缺陷，並利用6軸運動機械手和直觀的GUI進行高效掃描和數據分析。