二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293643757 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一種用於測量橫跨半導體基板的關鍵尺寸的掩模和晶圓檢測設備。它結合了亮場和暗場成像能力，提供無與倫比的分辨率和準確性。該系統具有高分辨率光學單元,具有多種放大選項和角度。KLA Surfscan SP2能夠成像尺寸達300毫米的樣品,範圍從緊密的線寬到大型復雜的模式,並提供最高級別的過程監控。TENCOR SURFSCAN SP 2中的光學機器設計為提供最高精度,具有廣泛的景深,即使在復雜的模式中也能確保清晰的成像。高亮度光源確保了信噪比的最大效率，而優化的視場則為單個視場提供了出色的廣角照明，即使在地形參差不齊的情況下也是如此。這使工具能夠檢測小缺陷或特征測量誤差。Surfscan SP2中的高速自動對焦資產可以輕松地獲取樣品所有深度的特征的圖片,包括緊密的線條圖案、通孔和接觸孔,從而獲得最大的精度。該模型具有多個點擊工具集,確保客戶無需手動調整即可容納任何基板表面。此外,SURFSCAN SP 2還通過快速的圖像采集速度和基於模板的智能工作流提高了工作效率。KLA/TENCOR SURFSCAN SP2通過其超高分辨率光學設備實現精確的CD（臨界維度）測量。該系統的高級成像功能,如多個圖像堆棧、延時成像和遠場成像,提供精確的間隙測量,甚至可以檢測到最好的CD違規情況。利用綜合分析能力，除了自動化缺陷檢測和識別引擎外，用戶還可以保持質量和過程控制的最高標準。TENCOR Surfscan SP2設計為用戶友好,可定制以滿足特定的客戶需求。它可以集成到任何現有的工具鏈中，其先進的圖像分析能力為掩碼和晶圓檢查提供了完整的解決方案。它具有簡單、直觀的界面和用戶定義的自動化流程,可快速執行任務。KLA SURFSCAN SP 2是減少生產缺陷、增加成本節約的理想掩模和晶圓檢驗裝置。