二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293745400 待售
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KLA/TENCOR Surfscan SP2是一款高性能的掩碼和晶圓檢測設備,設計用於動態和缺陷檢測應用。該系統采用創新設計,結合了先進的成像、測量和缺陷檢測技術,幫助制造商準確識別缺陷並提供零件質量控制解決方案。檢查單位配備了高速彩色CCD圖像采集機,能夠快速成像掩碼和晶片特征,數據采集高達每秒300像素。此工具還提供了一套自動化的清潔工具,可實現最佳的檢查性能。該資產還能夠檢測亞微米缺陷,包括顆粒汙染、臨界尺寸缺陷和亞像素缺陷。成像傳感器的分辨率可達4倍(按面積分解率),可提供膨脹、收縮和對比度控制功能,使用戶能夠根據各種掩模和晶片類型定制成像參數。該模型功能強大的缺陷檢測算法旨在識別多種類型的缺陷,包括打印叠加、顆粒汙染和臨界尺寸缺陷。算法還可以檢測可能的異常,如三角缺陷、分辨率要求、塗料缺陷等。此外,該設備還配備了專用激光對準工具,用於調整圖像並使其與材料幾何形狀對齊,提高檢測精度。KLA Surfscan SP2還具有高度敏感的缺陷檢測實驗室,可用於模擬一系列材料條件和配置,並應用結果來識別潛在缺陷。該系統還包括許多用戶友好的功能,如允許輕松訪問特定工具和功能的自定義工具欄、便於故障排除的集成診斷工具,以及便於瀏覽應用程序的直觀圖形用戶界面(GUI)。此外,該單元還提供無限的客戶帳戶管理功能,因此用戶可以隨時保存其工作並快速訪問其項目。TENCOR SURFSCAN SP 2是一款功能強大的檢測機,旨在幫助廠商快速準確地識別和解決缺陷。其強大的硬件和直觀的軟件使其成為滿足各種掩模和晶圓檢測需求的理想解決方案。
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