二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293749145 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一種為半導體制造行業設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統允許對集成電路等微電子器件生產的圖像質量、圖樣保真度、深度缺陷檢測等進行檢測。它提供了無與倫比的成像速度和分辨率，以幫助確保產生最優質的蒙版和晶圓圖像。KLA Surfscan SP2由一組先進的光學和高端探測器以及一個用於快速處理的高功率計算機單元提供動力。利用激光幹涉共焦技術（LCT）捕獲和分析亞像素大小的缺陷。該機還利用獲得專利的3D掃描鏡頭和高清圖像檢測器，以提高檢查的準確性。TENCOR SURFSCAN SP 2為多種晶圓材料如Al2O3、InP、SiGe等配備了一套校準標準。這有助於確保在檢查過程中獲得最佳成像結果。該工具還可以檢測到口罩或晶片上的各種異常3 D模式，從而改進了對細微缺陷和變化的檢測。KLA/TENCOR SURFSCAN SP2旨在提供全面的掩模和晶圓檢測解決方案。這包括能夠檢查低至0.12微米的Moire模式、fiducials、CD模式和微模式。所有這些特性都可以實時檢查，不需要檢查後分析。此外，該資產還可以檢測氧化物和顆粒缺陷、變薄或增厚以及其他亞微米薄膜缺陷。進一步分析，TENCOR Surfscan SP2配備了大量的圖像功能，包括放大鏡、面積選擇、變焦、導線叠加、輪廓測量等。它還包括一系列濾鏡,例如顏色反轉、時間戳、焦點級別和邊緣檢測。這些功能都是為了提高檢查過程的準確性和速度而設計的。總體而言，Surfscan SP2是一種功能強大且可靠的半導體制造掩模和晶圓檢測模型。它為廣泛的圖像分析和檢測任務提供了業界領先的速度和分辨率,使其成為質量控制和生產優化的絕佳選擇。