二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293759533 待售
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單擊可縮放
ID: 293759533
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Inspection system, 12"
EFEM
Carrier:
(3) Advantage SW CID, Phx, Shinko (Load port)
8 User-configurable LEDs to display the load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping: FOUP and detect wafer
Empty slots and cross-slotted wafer
Chamber:
Powder coat panels kit: 8"-12"
Vacuum option optical filter
Load port vacuum: Tripple, 12"
FIMS Application:
Edge exclusion: 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incident illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY Coordinates
IDM SP2
PC:
Processer: Intel Xeon CPU 3.20 GHz
Handler: SecondaryUI, Phoenix, SP2
RAM Memory: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
3.5" Floppy
Facilities:
CDA: > 28.3 Nl/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, >-700 mm Hg
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2010 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是半導體工業中用於檢測缺陷、保證制造過程中光掩模和晶片質量的尖端掩模和晶片檢測設備。這一創新系統將先進技術與高精度相結合，提供徹底的檢測能力，使半導體制造商能夠保持高產生產，達到嚴格的質量標準。KLA Surfscan SP2單元的核心是其先進的成像技術，它利用先進的光學和傳感器來捕捉蒙版和晶片表面的高分辨率圖像。然後使用強大的算法和軟件對這些圖像進行分析，以檢測和分類各種類型的缺陷，包括粒子、模式偏差以及其他可以影響半導體器件性能和可靠性的異常。TENCOR SURFSCAN SP2的一個關鍵特點是它能夠在微觀水平上檢查掩模和晶片，確保即使是最小的缺陷也能準確識別和分類。這種精度水平在半導體工業中至關重要，在半導體工業中，電路模式的大小和密度不斷縮小，使得用傳統的檢測方法檢測缺陷越來越具有挑戰性。SURFSCAN SP 2配備了多種檢查模式，允許用戶根據自己制造過程的具體要求定制檢查過程。這些模式包括亮場、暗場和混合成像模式,每種模式都提供了檢測不同類型缺陷和優化檢查性能的獨特功能。此外,Surfscan SP2還具有一個用戶友好的界面,使操作員能夠高效地設置和運行檢查,簡化檢查過程並最大程度地減少生產中的停機時間。該機器還提供自動缺陷審查和分類功能,允許用戶無需人工幹預即可快速識別和分析缺陷,從而進一步提高生產率和產量。除了缺陷檢測外，TENCOR Surfscan SP2還可以執行臨界尺寸測量，提供有關掩模和晶片上特征大小和形狀的寶貴數據。這些信息對於確保半導體器件的準確性和保持制造過程控制至關重要。總體而言，KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2是一種最先進的掩模和晶圓檢測工具，提供無與倫比的檢測缺陷、確保半導體器件質量和提高半導體行業生產效率的能力。其先進的成像技術、多種檢測模式和用戶友好的界面，使其成為半導體制造商努力在其工藝過程中實現高產率和可靠性的強大工具。
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