二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293769272 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一種掩模和晶圓檢測設備，用於檢測可能損害集成電路電氣性能的微觀缺陷。這個先進的系統使用精密的光學器件目視檢查掩模或晶片的整個表面，以盡可能高的分辨率搜索缺陷。KLA Surfscan SP2配備了一套全面的檢測技術。這包括光學缺陷檢測、臨界尺寸掃描、標線殘留檢測以及連接檢測。它的檢查速度高達每小時15個晶圓，並提供分辨率高達0.0014微米的精確數據。SP2單元采用先進的物鏡，具有創新的五位機制，消除圖像失真。它還配備了多維可選的字母數字能力，能夠快速準確地識別和拒絕被汙染或劃傷的晶片。TENCOR SURFSCAN SP 2包含一個易於使用的圖形用戶界面，允許操作員快速選擇參數，並為每個作業定制機器。自動化功能還可以簡化操作,減少設置所花費的時間,並減少人為錯誤的可能性。該工具生成的詳細數據可以導入到可選的SurfStat數據分析包中,從而使用戶能夠快速準確地識別和排除微觀缺陷。此資產非常準確和靈活,非常適合質量控制和其他過程管理應用。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2是一種用於掩模和晶圓檢測的高度先進的技術，使其成為要求最苛刻的應用程序的首選。出色的可見性和分辨率,再加上易於操作和數據管理,使模型成為缺陷分析和預防性維護的理想工具。