二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293807608 待售

ID: 293807608
Inspection system Throughput: <37 nm UV Laser Modes: Standard throughput High sensitivity Oblique illumination Equipped with powder coat painted panel PHOENIX Dual FIMS Vacuum wafer handler, 12" Power inlet Optical filter XY Coordinates Edge exclusion, 2 mm IDM 4-Color light tower (Red, Yellow, Green, Blue) XY Calibration wafer, 12" Dryer Operating system: Windows XP.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是專門為晶圓制造和半導體器件制造工藝設計的掩模和晶圓檢測設備。這種先進的系統允許制造商在晶片制造或設備制造過程中以高吞吐量嚴格檢查掩模和晶片,並檢測微觀缺陷。KLA Surfscan SP2具有明場和暗場成像技術,使其能夠檢測到晶片上存在的最小缺陷。這些缺陷的範圍從針孔、劃痕和顆粒到突起、痕跡和變形。此外,該裝置還可以檢測晶片上的其他不規則性,如異物堆積、汙漬和蝕刻前損壞區域。機器還包括一個專門的圖像分析功能,允許制造商識別和分類檢測到的缺陷具有很高的準確度。TENCOR SURFSCAN SP 2配備了直觀的用戶界面,使操作員更容易管理操作。該設備有一個21英寸的大型高清觸摸屏面板,旨在幫助用戶輕松配置檢查參數。刀具的接觸位置精度非常好,分辨率為0.5 μ m,即使是最小的模具尺寸也適合檢查。TENCOR Surfscan SP2也非常可靠,因為它配備了最新的節能技術。資產通過在使用後自動關閉備用狀態,然後僅在必要時重新啟動來實現此目的。這有助於制造商降低能源成本,並延長模型的使用壽命。該設備還適用於廣泛的應用,符合SEMI質量體系標準。Surfscan SP2是制造商的理想選擇,他們希望以高精度檢查其晶片和掩碼,同時降低能耗。該設備的高性能使其成為制造商尋找可靠高效的機器來檢查其晶片和掩模的理想選擇。
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