二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293814035 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一種基於全場光學臨界尺寸（CD） SEM的掩模和晶片檢測設備。它是為自動檢查前端面膜和晶片而開發的一個緊湊且無維護的系統。KLA Surfscan SP2配備了一個精密的成像單元，能夠生成即使是最復雜的掩模和晶圓結構的高質量圖像。本機由單色場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）、低溫標本級和用於精確定位標本的電動XYZ級組成。FE-SEM的工作分辨率為0.2nm,可以檢測小至4nm的結構。其集成的自動化測量和分析軟件使用戶能夠從各層獲取信息，這有助於評估樣品質量。此外，TENCOR SURFSCAN SP2提供了對光束電流和冷卻工具的精確控制，以保護樣品免受損壞。Surfscan SP2還有一個直觀的用戶界面，可以讓用戶快速輕松地設置並開始檢查，而無需參考手冊。此外,資產還提供可靠性和可重復性能,以確保結果的準確性。此外,TENCOR Surfscan SP2還提供了一個快速可靠的檢測樣品的過程。利用自動聚焦反饋回路，可以快速調整焦點，獲得準確的結果。設備提供了各種各樣的擴展,包括缺陷審查、數據導出、審查數據庫管理和過程控制。KLA SURFSCAN SP 2是掩模檢查、晶圓評審、電路布局驗證、光刻模擬、叠加分析、過程控制、故障分析等廣泛半導體應用的理想選擇。它支持PDK、BiCMOS和DRAM等不同技術，可用於檢查多層結構。該系統能夠集成AutoAdjust,這是一個功能強大的基於規則的工具,用於自動特征測量和缺陷報告。而且，它也可以用於缺陷分類和晶圓計量。總體而言，SURFSCAN SP 2是一個可靠、高效的掩模和晶圓檢測單元，能夠執行最復雜的分析。其先進的特性和能力使其成為所有半導體行業的理想選擇。