二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9240763 待售
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已售出
ID: 9240763
晶圓大小: 12"
Particle measurement system, 12"
Operating system: Windows XP SP3
Carrier:
Phx, SHINKO (Load port)
(8) User-configurable LEDs to display load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping
Chamber:
Powder coat panels kit
Vacuum option: 200/300mm
Load port vacuum: 12" Dual FIMS
Hardware:
5-Color light tower (RBYGW)
Ethernet
E84 Enabled for OHT and AGV/RGV
GEM/SECS and HSMS
Handler secondary UI, Phoenix, SP2
Main computer:
Intel®Xeon™ CPU 3.20 GHz
Memory: 3.5 GB RAM
DVD- ROM
Mouse
Keyboard
Floppy, 3.5"
FEC Computer:
Intel®Pentium®4 CPU
512 MB RAM Memory
Applications:
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY coordinates
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Options:
Haze
IC / OEM Mfg surf quality recipe
Facilities:
Power: 208 VAC, 3 W-N
CDA: >28.3 Nl/min, >6.6791 kg/cm²
Vac: >28.317 l/min, >-700 mm Hg.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是一種掩模和晶片檢查設備，用於檢測和糾正掩模和晶片上的不需要的缺陷。KLA Surfscan SP2使用光學、電氣和機械元件來檢測和糾正各種晶圓類型的缺陷。光學檢查包括明場和暗場成像，以準確檢測任何缺陷。電氣特性利用接觸法和非接觸法測量電阻、電容和電流等電性能。機械特性允許TENCOR SURFSCAN SP 2在檢查晶片時改變方向進行精確的運動和調整。KLA/TENCOR SURFSCAN SP2具有聚焦變化和圖像處理等集成技術，用於檢測晶圓，識別和定位潛在缺陷。焦點變化提供了晶圓的三維視圖，使系統能夠精確檢測亞微米缺陷。成像子系統使用精確和高分辨率的CCD相機來捕捉晶圓的圖像，以便進一步分析。KLA SURFSCAN SP 2還具有高級軟件，用於分析每次檢查的數據，並以易於閱讀的格式顯示結果。軟件有一系列工具，允許用戶過濾和識別晶圓上存在的特定缺陷。該單元還具有內置的自動調度功能，可用於設置對不同晶圓類型和運行的定期檢查。此外,Surfscan SP2的設計考慮到了方便和安全。它配備了易於設置和使用的自動化機器。該工具高度可定制,允許用戶根據其特定要求調整參數。該資產還配備了幾個安全功能，如鑰匙鎖和緊急停止開關，以確保安全的操作環境。總體而言,TENCOR Surfscan SP2是一個通用的模型,旨在檢查晶片並檢測和糾正任何有害的缺陷。該設備配有光學、電氣和機械部件，能夠精確檢測各種晶圓類型的亞微米缺陷。高級軟件還允許用戶過濾和分析數據以快速識別缺陷。SURFSCAN SP2具有自動化特性和安全特性,提供了高效、安全的掩模和晶圓檢測系統。
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