二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9260809 待售
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已售出
ID: 9260809
Inspection system, 12"
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 0235019-000 / Laser head, UV, 355 nm, 350 mW, T sesam mo
(1) / 0094103-001 / FRU, DC Module assembly, PDU, SP2
(1) / 0261763-000 / Module, data acquisition, USB, MINILAB Ribbon
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-ports
(1) / 0501328-000 / Front end controller kit
(1) / 0305125-000 / KIT, REV E Controller and cables, YASKAWA NXC100
(1) / 0259855-000 / FRU, L1A, L1B L1-L2 Assembly, EC, SP2
(1) / 0253452-002 / FRU, Attenuator assembly half-wave, EC, SP2
(1) / 0253457-000 / FRU, Fold mirror, 90°, incident, EC, SP2
(1) / 0333668-000 / PS With diode, UV Laser, J40 355 mW hybrid
(1) / 0253311-000 / Assembly, SERVO Mirror, SAPPHIRE, BSS, EC, SP2
(1) / 0216827-000 / PCB Assembly, GALIL M, configured, SP2
(2) / 0094104-000 / FRU, PCB Assembly, proc 3, INTRF 2, 8 x 512M, SP2
(2) / 0202919-002 / FRU, HD and Carrier, IDE 500GB configuration 1.0, SP
(2) / 0253456-000 / FRU, Mirror, Pick-Off, QC1, EC, SP2
(1) / 0023892-000 / Chuck, 8"/12", vacuum, SP1
(1) / 0123546-000 / Fan filter HI capacity, SP2
(1) / 0214551-001 / FRU, PMT Assembly, single, dark field, SP2
(1) / 0094100-000 / FRU, Assembly, fast laser shutter, SP2
(1) / 0214544-001 / FRU, Shutter assembly, laser, beam steering, SP2
(1) / 0253458-001 / FRU, Rotator assembly, half-wave, EC, SP2
(1) / 0253755-001 / FRU, BSC Assembly, NRML/OBL CHNL, EC, SP2
(1) / 0065575-000 / CBL, MTR DR Board to MSK CH Distribution board
(1) / 0128468-000 / Assembly, NODE, CPU, ISO port
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-Ports
2004 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是一款功能齊全的自動掩模和晶圓檢測設備。它可以進行多種不同類型的掩模和晶片檢驗，包括缺陷檢驗和鑒定。該系統能夠檢查從模具到全晶片的各種晶片尺寸。它既靈活又可擴展,允許用戶根據自己的確切需求定制設備。KLA Surfscan SP2利用KLA專有的Brightfield、Darkfield和Contrast Inspection技術來實現當今可用的最高級別缺陷檢測。這項先進技術使機器能夠檢測到小至0.1um的缺陷。該工具提供了各種對比度模式的選擇，使其能夠區分不同的缺陷類型以及識別模式化較弱的區域。資產使用兩項《防治荒漠化公約》運作；5.6百萬像素現場攝像機和1280 x 800百萬像素晶圓攝像機。現場照相機用於檢查掩模,而晶圓照相機用於檢查晶圓。兩種CCD的結合，加上TENCOR專有的檢測算法，使得模型能夠快速準確地檢測整個晶圓的缺陷。TENCOR SURFSCAN SP 2還配備了晶圓藍色對準設備，確保晶圓和掩模在檢查過程中精確對準。此外，系統還具有可調的檢查參數，允許用戶根據自己的具體需要量身定制檢查。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2還提供板載數據捕獲功能。這允許用戶捕獲和查看檢查數據以進行進一步分析。此外,該設備還具有高速處理機,使刀具處理數據的速度比競爭對手的系統快5倍。Surfscan SP2是一種先進的自動化掩碼和晶片檢查資產,它提供了用於掩碼和晶片缺陷檢測和鑒定的強大功能。憑借其560萬像素的現場攝像頭、1280 x 800像素的晶圓攝像頭、可調的檢測參數以及車載數據捕獲能力，提供了無與倫比的靈活性和性能水平。TENCOR Surfscan SP2是高容量、高產缺陷檢測的理想模型。
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