二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9308728 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2 Mask and Wafer Inspection Equipment是一種在半導體制造過程中檢測mask和wafer的高性能、經濟高效的解決方案。KLA Surfscan SP2采用市場領先的圖像采集和檢查算法,可確保產品的準確性和質量。利用全套高級集成工具,TENCOR SURFSCAN SP 2支持模對數據庫測量、產量分析、布局審查和缺陷分析。該系統包括具有雙光源的大型高分辨率區域掃描傳感器、分布式對象架構、自動特征識別、專家用戶創建的檢測系統、缺陷分類、智能缺陷打印。KLA SURFSCAN SP 2的分布式對象體系結構使配置復雜的單元參數、管理與關聯設備的通信以及擴展機器功能以包括第三方組件變得容易。自動特征識別由內置模板匹配引擎啟用,該引擎可以識別關鍵特征,然後對正確的特征放置、方向、星爆參數和結構分析進行檢查。由用戶創建的專家檢測系統提供快速、一致和可靠的過程監控。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2還提供了具有層次統計庫的綜合缺陷分類層次結構，將沈積殘留或顆粒等非固有特征上的缺陷與上遊源缺陷聯系起來。該工具的自動晶圓映射和圖像回放功能促進了高效的在線或過程後分析以及對感興趣的缺陷的隔離。智能缺陷打印使得在各種噴墨和激光打印機介質上獲得高對比度缺陷圖像成為可能。其他功能,如圖像穩定、自動邊緣檢測、圖像堆叠、智能縮放和圖像叠加,提供了更高的資產能力和最大化的檢查精度。Surfscan SP2還在Windows、Linux、UNIX和Sun Solaris操作系統等多種環境中提供流程管理報告。總體而言,SURFSCAN SP 2掩模和晶圓檢驗模型是一種用於陣列薄膜研究生產應用的高度可靠且經濟高效的解決方案。TENCOR Surfscan SP2憑借其先進的集成工具、用戶創建的專家檢測系統、完美無瑕的圖像準確性以及在線或後處理分析,是任何陣列薄膜制造過程中真正強大的解決方案。