二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9398740 待售
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ID: 9398740
優質的: 2011
Inspection system
Semi notch, 12"
Carrier:
(3) Load ports:
Phx
SHINKO
8-Configurable LED to display load ports
Load/unload button: Manual
Wafer cassette mapping: FOUP, 12"
Empty slots and cross slotted wafer
Vacuum load port: FIMS, 12"
Light tower (RBYGW)
Facilities:
CDA: > 28.3 NL/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, > -700 mm Hg
Edge exclusion, 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (Standard / Low)
XY Co-ordinates
IDM SP2
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
Grading and sorting
Spatial filter: 20°
Spatial filter: 40°
Spatial filter (Rough films)
Spatial filter (Back)
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Haze
Haze normalization
Haze analysis
IC/OEM
Ethernet:
NFS Client
E84 enabled for OHT and AGV/RGV
E87 (Based on E39)
GEM/SECS and HSMS
E40 / E94 / E90 / E116
Main computer:
Intel Xeon CPU 3.20GHz
RAM: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
FEC Computer:
CPU: Intel Pentium 4
RAM: 512 MB
Operating system: Windows XP SP3
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2011 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是一款最先進的掩碼和晶圓檢測設備，開發用於提供自動網表模式識別和缺陷管理應用中的最高性能級別。它提供了對表面條件和缺陷檢測的全面控制，能夠監測晶片的整體存在和檢測輪廓的細微變化，包括微石和粒子幹擾的存在和特性。通過結合先進的光學系統和創新的圖像處理技術，KLA Surfscan SP2使用戶能夠檢查模式、檢測缺陷、識別非均勻性，並對異常進行分類以表征表面條件。TENCOR SURFSCAN SP 2是一個專門為支持苛刻的工業半導體應用而設計的檢測系統，因為它支持高吞吐量，並對單個和多個晶片提供快速、準確的分析。它配備了多種高級功能,例如多級成像、二值化、形狀分析,以及選擇自定義光學濾鏡以增強圖像清晰度和字符識別的能力。這些濾波器可用於檢測晶片上非常小的模式,掃描缺陷和不規則性,並且可針對不斷變化的環境進行調整。該設備還提供高級的頂級質量控制功能,能夠有選擇地測量、檢測和校正任何表面參數,以確保晶圓的正確沈積、掩蔽和抵抗輪廓。機器可以掃描和檢查由多種材料組成的晶片，包括玻璃、鋁、矽和石英。其集成的5軸運動控制工具能夠將樣品精確定位在舞臺上，直接掃描到設備上，減少對準誤差和可能導致材料或產品缺陷的人為誤差。該資產還提供自動晶圓映射,存儲每個晶圓的詳細信息,並通過內置內存和緩沖區提供各種級別的分析,使其他應用程序能夠快速檢索數據。此外,該模型的自動缺陷檢測算法能夠檢測到人眼無法看到的過小故障,使其成為在進入市場之前快速識別和清除產品缺陷的高效而有力的工具。這使制造商能夠優化其生產過程,確保其產品符合高質量標準。此外,其用戶友好的界面和直觀的軟件提供對檢查功能的完全控制,以快速查看、分析和校正檢查數據。綜上所述，TENCOR Surfscan SP2是一種先進、綜合的面膜、晶圓檢測和缺陷管理設備。它提供快速掃描、準確分析和對表面條件的廣泛控制,使用戶能夠快速高效地有效地檢測和消除產品中的故障。
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