二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293594322 待售
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ID: 293594322
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Wafer surface inspection system, 12"
Heat exhaust blower
(2) Oblique incidents
(2) ST Modes
(2) Edge exclusion area: 2 mm
Handling options: (2) Vacuum chuck triple FIMS handlers (3 x 300 mm)
(2) Dual scans: Normal and oblique
(2) SURF monitor
(2) Fluorescence optical filter
(2) Spatial filters: 20°, 40°
(2) Environmental optics kits (COE)
(2) Cool white panels
2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3是一款先進的掩模和晶圓檢測設備,旨在提供高分辨率、高速的半導體缺陷檢測和分類。該系統以KLA專利反射成像技術為基礎,針對半導體生產的迫切需求量身定制。SP3強大的矽片和平板屏蔽檢測能力使晶片步進器和模式發生器能夠生產出質量和可靠性極佳的產品。該裝置以無與倫比的靈敏度、準確性和柔韌性對掩模和晶片進行高級檢查。KLA Surfscan SP3結合了強大的圖像采集、圖像處理和缺陷分類功能。該機器采用了一系列先進的圖像采集技術,如「四重」和「還原變化」,可實現高缺陷分辨率和高級表面成像。TENCOR Surfscan SP3還具有高分辨率光學元件、高像素密度和無死區,這要歸功於均勻的像素位置。Surfscan SP3還具有多種功能強大的檢測算法和交互式分析工具。高級算法允許精確分析,而交互式工具集允許用戶快速修改、自定義和驗證檢查結果。KLA/TENCOR Surfscan SP3旨在支持多種用戶配置,包括單用戶設置和更大的多用戶網絡。該工具還可與其他系統集成,以提高效率和生產力。KLA Surfscan SP3配備了多項高級晶圓控制功能,進一步啟用了高端性能。資產包括精確階段和轉換半標線調整以進行精確測量和調整,以及一份高級批量進度報告,以加強對質量保證的控制。該模型還包括高速可重復性的自動模式匹配、提高晶圓平整度的自動變形校正,以及具有卓越重復性和成本效益的專用激光源。最後,TENCOR Surfscan SP3具有基於Web的GUI,允許用戶輕松控制檢查順序並查看結果。GUI還為用戶提供了前所未有的設備功能、設置和報告訪問權限。強大的報告套件使用戶能夠快速訪問有關系統性能的信息和見解,從而使Surfscan SP3成為用於掩碼和晶圓檢查的強大而高效的工具。
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