二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293619782 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一種頂級的自動化掩碼和晶圓檢測設備。它旨在減少缺陷檢測時間，並集成到制造過程中，以防止缺陷被送到生產。系統配有廣角高解析度相機，提供掩模或晶圓的全場視圖。它與一個自動高速步進器相結合，可以精確掃描工件的每個區域。攝像機拍攝每個區域的多個圖像,分析它們的缺陷並跟蹤設備數據庫中的結果。軟件算法與已知缺陷進行比較，並提供實時檢查報告。SP3機器包括一種專利光束檢測技術，可以檢測15納米以下的納米級缺陷。這項技術放大了掩模或晶片的圖像，以便進行更詳細的檢查，並提高結果的準確性。該工具還提供了靈活的缺陷分類設置,允許用戶設置自己的缺陷分類標準,如缺陷大小、方向以及不同類型缺陷的組合。資產配備了直觀的圖形用戶界面,可快速訪問軟件設置,從而允許用戶根據需要快速調整設置。它還提供自動校準和校準驗證，以減少檢查時間並確保準確性。該模型符合EUV、OPC、IR/NIR和SARBD等各種協議。KLA Surfscan SP3設備的設計符合SEMI、ITRS和EUV等各種行業標準，使其適合生產半導體器件和光電元件。該系統易於維護，能夠快速維護和維修，以保持生產平穩運行。該股有經驗豐富的技術支助人員作為後盾，可以根據需要提供實時援助。