二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293650551 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一種自動化的掩模和晶圓檢測設備。它提供快速擴展的生產能力,包括低成本和高性能選項。KLA Surfscan SP3旨在簡化掩碼和晶片檢查的各個方面,從高級缺陷審查到全面的數據管理。該系統具有多種特點，能夠在半導體制造設施中進行可靠和一致的檢查。TENCOR Surfscan SP3通過各種光學器件提供了先進的成像技術,使設備能夠檢測到各種微粒、缺陷和其他細節,這些細節的尺寸非常小。該機器還包括一系列可重復和可定制的光學模塊，用戶可以根據其特定應用程序的需求定制該工具。資產采用自動圖像分析算法，以最大限度地提高準確性，並消除檢查過程中的人為偏差或錯誤。這確保了一致、公正的結果,並最大限度地減少了手動審查的需要。除了高級光學之外,Surfscan SP3還具有幾個用於數據管理、過程控制和示例管理的模塊。該模型的數據采集模塊允許組織和檢索庫數據以進行自動審查和分析,以及詳細的攝像機校準和審查。Coordinates Database模塊通過跟蹤布局和工作現場信息,確保對整個晶圓進行準確測量。最後,KLA/TENCOR Surfscan SP3的示例管理模塊使跨多個用戶和多個設備跟蹤和管理數據變得更加容易。該設備還擁有若幹先進算法，以確保檢查結果盡可能高的準確性和可靠性。例如,「掩碼幾何和邊緣檢測」算法允許檢測多個圖像之間的變化。Sub Layout驗證算法是一種獨特的功能,它可以檢測芯片上的對齊和定位方面的潛在問題。LED特征檢測算法可以進一步幫助通過正常檢測方法發現可能難以檢測到的關鍵缺陷。KLA Surfscan SP3是半導體制造環境中質量控制不可或缺的工具。該系統具有高精度的成像、自動化的數據管理和強大的算法,專為半導體制造的快節奏環境而設計。對於任何希望提高質量控制和檢驗能力的半導體生產設施來說,這是一個理想的選擇。