二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3+ #293776121 待售
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單擊可縮放
ID: 293776121
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Inspection system, 12"
PHOENIX 2.0 TFIMS Handler
(3) SHINKO Load ports
KAWASAKI NX500 Robot controller
Illumination: Oblique, Normal
Purge module
Interlock board
LON Node
Galil controller
(2) BSS Module
IMC Server rack
IMC Computer
IMC Monitor
IMC Data cable
Stage
Image computer
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3是一種用於半導體電路自動檢測的掩模和晶圓檢測設備。該系統在其自動掩碼和晶圓檢查工作流程中集成了高級光學計量、缺陷識別和缺陷分類功能。光學缺陷審查過程利用激光顯微鏡、激光散射法、化學蝕刻等多種成像技術，結合先進的自動化算法技術，準確識別缺陷並正確分類。該單元容量大，使其能夠每小時檢查多達40,000個晶圓模具。該機還提供了全面的圖像審查和分類功能。這些功能允許用戶查看缺陷的高分辨率圖像,並根據大小、形狀、位置和其他特征對其進行分類,從而允許操作員快速識別缺陷並確定如何解決這些缺陷。還包括一個集成缺陷分類引擎，允許操作員自動分配缺陷類。該工具構建在高性能FPGA平臺上,與幾個不同的行業標準缺陷數據庫兼容。它具有大量的高級功能,使用戶能夠根據自己的特定需求自定義檢查過程。該資產旨在減少錯誤警報並及時提供準確的結果。從安全角度看，KLA Surfscan SP3車型的設計符合最新的安全規定，包括歐盟的RoHS和WEEE指令。該設備已通過認證,符合適用的安全法規,並有完整的七年產品保修作為後盾。總體而言，TENCOR Surfscan SP3是一個先進的掩碼和晶圓檢測系統，在自動化、高性能的平臺中結合了光學計量、缺陷識別和缺陷分類功能。憑借其全面的特點，該單元可用於快速準確地識別缺陷並對其進行分類，以實現最高效的修復和避免過程。
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