二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293806349 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一種用於半導體制造過程的掩模和晶圓檢測設備。它是一種高度先進的工具，能夠檢測像素級的模式缺陷，準確率超過傳統的檢查技術。KLA Surfscan SP3的主要技術是接觸和接近成像。接觸成像涉及使用機械掃描的掃描儀，其形式為安裝在系統壁上的類似觸手的光學臂。此臂能夠在晶片上進行物理移動並對其進行詳細成像。另一方面，鄰近成像的工作原理是測量晶圓上的電路模式所發出的電場。這種方法在檢測高模式密度的大型晶片時特別有用。設備的內置算法允許它高速檢查晶圓和掩碼。它捕獲的圖像被送入TENCOR Surfscan SP3的內置缺陷檢測軟件，該軟件采用先進算法比常規檢測技術更準確、快速地識別缺陷。此外,Surfscan SP3還具有一套廣泛的功能,旨在增強可用性。這包括一個用戶友好、直觀的圖形用戶界面,它允許輕松導航和訪問各種檢查選項和晶圓數據。機器還設有一個大型的預定義配方庫，用於頻繁檢查的晶圓類型，可以在幾秒鐘內加載和調整，提高效率，減少操作員疲勞。KLA/TENCOR Surfscan SP3是一款高度先進、可靠且易於使用的檢測工具。它擁有令人難以置信的速度和準確性，同時提供用戶友好的體驗。這使半導體制造專業人員能夠快速、可靠地準確地檢查晶片和掩碼,從而大大提高制造過程效率,同時檢測可能不會被註意到的缺陷。