二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9364671 待售
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已售出
ID: 9364671
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Particle measurement system, 12"
Scan module
Image Computer (IMC)
Heat exhaust blower
Normal and oblique scan
Partial dual scan (Secondly inspection region)
SURF Monitor
Fluorescence optical filter
Spatial filters: 20°-40°
Environmental optics (COE) kit
Cool white panels
(3) Vacuum chucks: Triple FIMS handler, 12"
Options:
Oblique incident
ST Mode
Edge exclusion area, 2 mm
Defect classification functions:
Slipline
Scratch
Cluster
LPD-N
LPD-ES
RBB
Part number / Options
0274498-000 / Normal incident
0274501-000 / HT Mode
0274499-000 / HS Mode
0262045-000 / Large Particle Mode (LPM)
0395928-000 / Custom film generator
0302187-000 / Silica wafer set, 12"
0016628-000 / XY Coordinate standard wafer, 12"
0356234-000 / SP3 Haze normalization wafer, 12"
2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3是一種用於半導體電路自動檢測的掩模和晶圓檢測設備。該系統在其自動掩碼和晶圓檢查工作流程中集成了高級光學計量、缺陷識別和缺陷分類功能。光學缺陷審查過程利用激光顯微鏡、激光散射法、化學蝕刻等多種成像技術，結合先進的自動化算法技術，準確識別缺陷並正確分類。該單元容量大，使其能夠每小時檢查多達40,000個晶圓模具。該機還提供了全面的圖像審查和分類功能。這些功能允許用戶查看缺陷的高分辨率圖像,並根據大小、形狀、位置和其他特征對其進行分類,從而允許操作員快速識別缺陷並確定如何解決這些缺陷。還包括一個集成缺陷分類引擎，允許操作員自動分配缺陷類。該工具構建在高性能FPGA平臺上,與幾個不同的行業標準缺陷數據庫兼容。它具有大量的高級功能,使用戶能夠根據自己的特定需求自定義檢查過程。該資產旨在減少錯誤警報並及時提供準確的結果。從安全角度看，KLA Surfscan SP3車型的設計符合最新的安全規定，包括歐盟的RoHS和WEEE指令。該設備已通過認證,符合適用的安全法規,並有完整的七年產品保修作為後盾。總體而言，TENCOR Surfscan SP3是一個先進的掩碼和晶圓檢測系統，在自動化、高性能的平臺中結合了光學計量、缺陷識別和缺陷分類功能。憑借其全面的特點，該單元可用於快速準確地識別缺陷並對其進行分類，以實現最高效的修復和避免過程。
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