二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9383537 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一種自動化晶圓和掩模檢測設備，旨在提高整個半導體制造過程的吞吐量。該系統具有先進的功能，可最大限度地提高晶圓吞吐量，最大限度地減少產量損失，並提供前所未有的精度和精確度。KLA Surfscan SP3利用Adaptive Intrafield Autofocus和高清圖像捕獲技術,實現了區域到邊緣掃描的前所未有的準確性和可重復性。利用高端光學設備和電動舞臺,TENCOR Surfscan SP3可在整個掩模或晶圓上連續捕獲每個視場的多個圖像。使用專有的子像素聚焦算法，該單元可以輕松地在多個視場之間切換，而無需重新聚焦。進一步利用掃描能力，利用機器的混合再確認功能，實現快速準確的缺陷檢測和分類。除了高級成像和掃描功能外,Surfscan SP3的多級邊緣驗證功能還允許進行詳細的邊緣檢測和測量。通過分析多個圖像,該工具在檢測缺失的抗蝕劑陣列或晶片叠加時匹配模式以提高精度。KLA/TENCOR Surfscan SP3通過其高分辨率定位和基準標記檢測減少了臨界尺寸測量中的誤差。此功能利用Penta棱鏡表將晶片從左到右、從上到下精確精確地移動,從而實現晶片到晶片的精確配準和掃描。此外,KLA Surfscan SP3的智能缺陷映射允許增加晶圓吞吐量,因為它可以快速區分和分類缺陷。由於具有先進的特性和功能,TENCOR Surfscan SP3是同類產品中第一個提供完整缺陷檢測能力的資產,從區域到邊緣掃描到大小辨別。有了這樣一個創新可靠的模型，半導體制造商就可以輕松地將工藝可變性降到最低，降低吞吐量瓶頸，節約成本。