二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9396622 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一種掩模和晶圓檢測系統，旨在檢測和測量半導體和非半導體基板上的缺陷。結合復雜的圖像采集和分析,KLA Surfscan SP3可以通過一次操作檢查最多四個類型的樣本,從而確保客戶能夠快速準確地獲得缺陷數據。該設備的核心是其光學子系統，其中包括兩個精密的攝像頭-一個用於精確平面成像的超高分辨率彩色CCD和一個用於更有選擇性掃描的5倍高分辨率灰度CCD。集成照明提供自然照明以實現一致的結果,並且一系列自動和手動圖像處理選項允許用戶根據需要快速調整圖像設置。TENCOR Surfscan SP3還配備了用於光敏樣品的低背景系統，如顯微鏡樣品，以及用於自動圖像捕獲和樣品在視野中定位的視場取景器。自動化的樣本形態處理使設備的功能更加完善,成為成像和檢查的綜合工具。在數據方面，Surfscan SP3使用功能強大的軟件引擎提供復雜的圖像分析選項。測量數據可以匯總並分類成多個框架，或者可以使用算法搜索特定的粒子特征或識別納米級的個別缺陷。此外,該軟件還可用於本地或遠程存檔圖像,以便進一步查看和分析。KLA/TENCOR Surfscan SP3的多功能性使其成為最可靠的工具之一,非常適合檢測、測量和分析各種掩模和晶片基板上的缺陷。它提供了精度、準確性和可用性，使其成為半導體行業缺陷檢測的領先選擇。