二手 KLA / TENCOR Terascan SL516-T5 #9276280 待售

KLA/TENCOR Terascan SL516-T5是一種下一代的掩模和晶圓檢測設備，提供高度準確可靠的檢測結果。它可用於評估晶圓和掩模光刻工藝的完整性。該系統配備了能夠提供快速精確對準的鏡頭，具有0.17微米分辨率和0.80的低數值孔徑（NA）值。自動對準機構可確保鏡頭和舞臺完全對準,並提供晶圓或掩模的非常精確的概述。對於需要提高準確性的用戶,可選擇的高NA高達1.2。KLA Terascan SL516-T5集成了最新的計量技術以實現快速檢測速度。掃描速度比以前的系統快60X,從而提高了總體吞吐量。該設備具有手動、半自動或全自動檢查功能。自動化技術允許輕松校準和設置,以實現一次最多兩個晶片的自動掃描。手動檢查允許用戶進行詳細和高度具體的檢查，這對於發現罕見缺陷特別有用。總體而言，TENCOR Terascan SL516-T5提供了一種全面、經濟高效的晶圓和掩模檢測機，適合各種光刻工藝。它的快速、精確的對齊機制和自動化功能能夠快速、準確地進行檢查,使其成為各級用戶尋找快速、可靠的檢查工具的絕佳選擇。