二手 KLA / TENCOR Terascan SLF576 #9276278 待售

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ID: 9276278
優質的: 2003
Reticle inspection system, 12" Reticle transfer robot Load port (2) Line conditioners UIC UM User console Missing parts: Beam stabilizer Homogenizer Laser head Fork assembly IAF Preamp enclosure (2) Boxster boards UIC1 Power supply 2003 vintage.
KLA/TENCOR Terascan SLF576是為半導體制造應用設計的綜合性掩模和晶圓檢測設備。該系統包括一個集成的掃描叠加和圖像剪接技術,提供高分辨率的3D檢查復雜的圖案特征和生產過程的縮放。使用KLA Terascan SLF576,用戶可以從多個角度捕獲全場圖像,以查找掩碼上的任何潛在缺陷。設備的掃描叠加和圖像剪接技術可確保從多個角度檢查掩模的相同區域,而不會導致觀測特征的相對位置發生任何偏移。該機器還提供全面的自動化功能,以便用戶能夠在操作人員幹預相對較少的情況下輕松快速地完成對掩模表面的檢查。TENCOR Terascan SLF576配備了行業標準的攝像頭導航工具,用於手動和自動處理圖像信息,允許用戶快速查找任何缺陷。在硬件方面,Terascan SLF576圍繞無透鏡頻閃照明工具構建,產生無與倫比的清晰度和細節圖像。該資產還配備了分辨率高達1.3 µm的高速、高分辨率CCD攝像頭。為了支持檢查過程,該模型包括一個功能強大的晶圓對準設備,它使用多種視覺算法來方便精確的葉片放置和定位。結果是掩模上的圖樣在不同視場之間或不同晶圓位點之間精確匹配。在軟件方面,KLA/TENCOR Terascan SLF576采用了多種缺陷檢測和圖像分析工具,以進一步支持檢測過程。這些嵌入式工具使用戶能夠評估圖像的不同方面,如邊緣強度、噪聲級別和線寬,以便快速識別和隔離任何潛在的缺陷。為了確保卓越的系統性能,KLA Terascan SLF576采用了可熱插拔、可現場更換的組件,使用戶能夠在需要時快速輕松地更換有缺陷的部件。此外,該設備還提供高級實時熱成像功能,用於識別熱點和測量功耗變量。總體而言,TENCOR Terascan SLF576是解決半導體制造中掩模和晶圓檢測需求的絕佳解決方案。憑借其先進的掃描叠加和圖像剪接功能,計算機可以捕獲和分析高分辨率3D圖像,以快速準確地識別任何潛在缺陷。此外,Terascan SLF576還配備了全面的硬件和嵌入式軟件工具,以支持和自動化檢查過程。
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