二手 KLA / TENCOR Teron 610 #9291368 待售

KLA/TENCOR Teron 610是一種自動化的掩模和晶圓檢測設備，旨在滿足行業對光掩模和晶圓進行高級檢測和評審的嚴格要求。該系統利用兩個高分辨率ASML 5500成像和投影系統以及一個亮場成像模塊來捕獲掩模或晶片的高分辨率圖像，並將成像投影到基板上進行高精度分析。KLA Teron 610的自動光學檢查（AOI）功能使其能夠檢測缺陷,包括斷線、寬度變化和缺少的形狀,小至40 nm。圖像數據可以直接存儲在FTP服務器上，便於傳輸報告，並將單位的數據與其他質量保證系統集成在一起。TENCOR Teron 610還配備了自動缺陷審查（ADR）功能，使用戶能夠快速分類、標記和保存缺陷。此外，機器可以檢測到背面的模式-移位缺陷，使用戶能夠識別基板背面的任何不合格模式。該工具有兩個視頻顯微鏡站，最多可捕獲八個圖像，以便對給定模式進行詳細分析。該資產還提供了高級模式識別，使其能夠檢測到其他系統會遺漏的細微缺陷。它利用高分辨率成像來捕捉曾經超出自動光學和缺陷檢測系統分辨率的微觀細節。最後,Teron 610利用動態缺陷過濾器,允許用戶將檢查工作重點放在特定類型的缺陷上。總體而言，這些特性的結合使得KLA/TENCOR Teron 610成為功能強大且高度先進的掩模和晶圓檢測模型。它具有高分辨率的成像和自動檢查功能,能夠檢測小至40 nm的缺陷,並且其先進的模式識別和缺陷濾波器功能使其成為確保最苛刻的光掩模和晶片準確性的理想設備。