二手 KLA / TENCOR UltraPoint 1010 #9277851 待售
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KLA/TENCOR UltraPoint 1010掩模及晶圓檢測設備是一種集成的掩模和晶圓檢測系統,旨在為當今最先進的光刻工具提供卓越的性能。該單元結合了先進的視覺技術和自動化系統,以快速識別和分類最先進的蒙版和晶片上的缺陷。這臺機器的主要特點包括高速攝像機、自動缺陷檢測、通過X射線或光學檢查識別缺陷、3D成像能力以及自動反饋進行校正。KLA UltraPoint 1010還提供了一套全面的缺陷識別和分類算法。TENCOR UltraPoint 1010最重要的特點之一是能夠快速檢查大量的掩模和晶片。該工具具有掃描速度和分辨率的獨特組合,每小時最多可檢測10個晶圓。這樣可以確保資產可靠,並且可以處理各種生產方案。UltraPoint 1010還提供了高度可定制的檢查工作流。這包括能夠定義復雜的視場需求,以及可變放大倍率和獲取設置。它還包括可定制的缺陷分類參數,這些參數可以調整以提供最佳結果。KLA/TENCOR UltraPoint 1010旨在輕松集成到任何制造環境中。它還完全符合行業標準,包括SEMI PV29-0512和JEITA 5.1。它包括一個用於遠程控制和實時報告的web界面,並且還與其他現有的掩碼和晶圓檢查系統兼容。綜上所述,KLA UltraPoint 1010 Mask&Wafer Inspection Model是一種集成設備,旨在提供高精度和高效的缺陷檢測和分類。它提供高速掃描、高級成像技術、自定義缺陷識別和分類算法,以及易於集成的體系結構。憑借其高性能功能,TENCOR UltraPoint 1010非常適合用於高級光刻工具。
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