二手 KLA / TENCOR UVision 5 #293586464 待售

ID: 293586464
Brightfield inspection system.
KLA/TENCOR UVision 5是一種先進的自動掩模和晶圓檢測設備,旨在檢測制造前半導體材料中的異常。使用高分辨率光學和專利檢驗算法,它可以檢查掩模或晶片表面非常精細的細節是否有缺陷,如劃痕和汙染。隨著測量靈敏度和精度的提高,KLA UVision 5能夠檢測到最微妙的掩模和晶圓缺陷。TENCOR UVision 5利用多個高分辨率環境探測器來研究晶圓和掩模,而無需昂貴的系統校準或其他組件。UVision 5使用特殊的多軸運動控制和成像單元,對宏觀和微觀尺度的表面進行精確的測量和分析。此外,KLA/TENCOR UVision 5利用深度學習和人工智能技術檢測和區分缺陷和汙染物。KLA UVision 5的自動化成像和測量系統可以檢測任何受汙染的顆粒,包括碎片、塵埃和其他汙染物,這會對半導體器件的性能產生不利影響。該機器可用於評估由多種材料制成的晶片,如矽、玻璃和聚合物。該工具利用其高分辨率成像技術和圖像融合功能,詳細概述了掩模或晶片的任何部分。該資產還包括一個用戶友好界面,使操作員能夠快速訪問數據並自定義其掩碼或晶圓檢查。它還提供利潤率分析,操作員可以比較檢查前和檢查後的結果,以確保質量的一致性。該模型可以完全手動或半自動模式操作,旨在捕獲與質量或制造變化有關的任何樣品,供進一步研究。TENCOR UVision 5的自動化檢測設備還提供了對可追蹤性和符合法規標準的支持。它配備了集成的合規性和數據跟蹤軟件,可確保系統收集的所有數據都安全地存儲在中央服務器單元中。UVision 5還允許對檢查結果進行擴展分析,包括模式識別和統計過程控制。機器的先進特性提供了滿足半導體行業高需求所需的可見性、數據可靠性和信息準確性。
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