二手 KLA / TENCOR UVision 5 #9300220 待售

ID: 9300220
Brightfield inspection system.
KLA/TENCOR UVision 5是半導體制造過程中使用的一種前沿掩模和晶圓檢測工具。它使用紫外線、光學和核輻射源的組合來識別面膜和晶片層中的缺陷。這種高分辨率工具的設計目的是在比人的眼睛能辨別出的小水平上檢測缺陷,從而確保在生產過程中達到最高水平的質量保證。該設備具有堅固的平臺,可提供可靠和準確的結果。平面內和平面外光學計量學系統用於檢測面膜結構或晶片薄膜中的深層地下缺陷和其他模式。然後通過使用紫外線、光學和核輻射源識別缺陷的多種圖像處理工具對這些圖像進行分析。KLA UVision 5采用了先進的顯微鏡和圖像處理算法,使得能夠對諸如進給通量、蝕刻通量以及通過缺陷等樣本進行深入分析。該系統可準確監控層間距,承受顆粒應力,有助於缺陷鑒定.此外,TENCOR UVision 5還包括一個無光功能,用於在黑暗中檢查光刻膠掩模開口(通常顯得太小或不存在)。該單元也足夠強大,可以處理3 D半導體檢查,允許對需要多個視角的圖樣進行更好的深入檢查和分析。這有助於確保制造過程盡可能優化和高效。強大的檢測能力和高精度的圖像處理工具相結合,使UVision 5成為一臺功能強大、可靠的半導體生產面膜和晶圓檢測機。其先進的算法能夠快速準確地識別和分類缺陷,從而能夠及時解決問題,保持質量生產。
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