二手 KLA / TENCOR WI-2250 #9379062 待售
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KLA/TENCOR WI-2250是一種用於微觀缺陷詳細檢測的掩模和晶圓檢測設備。它利用高功率激光器和精密光學器件來獲得組件的宏觀視圖。KLA WI-2250包括一個光學子系統和一個樣品處理子系統,它們共同提供徹底和高度準確的缺陷檢測。TENCOR WI-2250的光學子系統能夠以多放大倍數檢測晶片,從而實現精確、深、大面積缺陷檢測。光學子系統廣泛使用了強大的激光器.激光被仔細聚焦,以投射高強度的光束橫跨樣品表面的寬度。當激光束撞擊部分樣品時,它會觸發專門的光傳感器,可以檢測樣品中的缺陷和不間斷的樣品表面之間的任何差異。這樣就可以準確檢測到微裂紋、針孔、顆粒或汙染物等小缺陷。WI-2250的樣品處理子系統負責掃描和移動樣品,以便捕獲高度精確的表面顯微鏡圖像。示例處理子系統包括用於精確定位和識別缺陷位置的高分辨率目標系統。此子系統還能夠自動將樣本與關聯的模式對齊,從而可以快速識別兩者之間的任何扭曲或未對齊。KLA/TENCOR WI-2250在缺陷檢測方面提供了無與倫比的準確性。它以檢測最小缺陷的能力而聞名,允許在半導體制造中進行卓越的質量控制。該單元的放大倍數範圍很廣,因此可以提供晶圓表面的詳細圖像。此外,KLA WI-2250的目標機器有助於快速準確地查明樣品中的任何缺陷位置。這一切結合起來,提供了一個全面和高度可靠的掩模和晶圓檢驗工具.
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