二手 KLEO LDI CM 20 #9246262 待售

KLEO LDI CM 20是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,用於識別光刻中使用的可能導致產量損失的圖樣上的不合格標記。該系統由數字成像子系統、光衍射子系統和數據管理子系統組成。數字成像子系統利用電荷耦合器件（CCD）掃描高靈敏度和動態範圍的樣品表面。然後使用復雜的軟件捕獲和分析圖像。軟件能夠檢測、識別和測量缺陷、光盤和晶粒。該單元還結合了具有穩定輸出的明亮光源，以優化掃描表面上暗光區域的對比度。光衍射子系統提供多角度衍射光掃描來評估表面特性。光源可移動以測量各種表面構型和入射角。對從該子系統獲取的數據進行分析，以確定可能導致產量損失的一系列不符合要求的元素。數據管理子系統允許用戶訪問來自數字成像和光衍射子系統的掃描結果。實時監控和調整掃描參數等功能使用戶能夠確保每個樣本的質量。所有收集的數據都存儲並組織在數據庫中，以便進行有效的召回和分析。總體而言，LDI CM 20面膜和晶片檢測機能夠提供快速、準確、可靠的光刻模式評估。高度自動化的工具使用戶能夠快速、經濟高效地查找和減少產量損失要素,從而確保合規性和整體質量。