二手 RUDOLPH AXI-935D #9385106 待售

RUDOLPH AXI-935D是為半導體工業設計的最先進的掩模和晶圓檢測設備。它是一個全面的系統，有助於檢測和分析蒙版和晶片上的缺陷。該單元由透鏡系統、激光幹涉顯微鏡和其他有助於捕捉和分析高分辨率圖像的光學元件組成。機器配備精密運動級，可以機械或通過電機控制的進料移動掩模或晶片。它還裝備了一個可以旋轉物體進行360度成像的舞臺。該工具旨在支持傳統的2D成像和高級3D成像。它允許廣泛的圖像采集方法，如全內反射、上光照射、暗場和斜視，並且能夠以10nm分辨率獲取圖像。RUDOLPH AXI 935D的子系統旨在分析缺陷,並將其與先前獲得的「黃金圖像」進行比較,以確定哪些區域受到影響。它可以檢測到尺寸低至0.2微米的缺陷，並能提供尺寸、長寬比、對比度、強度等缺陷的準確可靠信息。AXI 935 D還包括一套綜合的圖像處理工具，用於分析圖像數據和提取關鍵缺陷參數。這些工具有助於識別缺陷並將其與背景限制隔離開來。它還可用於識別過程缺陷、確定產量損失以及識別可能導致過程失敗的關鍵缺陷。此外,還可以通過添加高級缺陷過濾、缺陷分類和高級模式識別等功能,對資產進行自定義以滿足特定的應用程序要求。該型號也是模塊化的，可以用更高放大倍率的鏡頭或可互換的光學元件輕松升級。綜上所述，AXI-935D是一種可靠、通用的掩模和晶片檢測設備，旨在保證掩模和晶片檢測的最高精度和生產率。它具有高度可配置、易於升級以及能夠提供詳細而準確的缺陷分析。