二手 RUDOLPH CV 9812 #9163869 待售

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RUDOLPH CV 9812
已售出
ID: 9163869
晶圓大小: 12
Dimension measurement system, 12".
RUDOLPH CV 9812是由RUDOLPH Technologies製造的下一代口罩和晶圓檢查設備。該系統以極高的吞吐量提供高質量和準確的結果,並設計成可對多達4個晶圓/秒的圖像進行成像。該單元采用全息方法進行檢查,利用脈沖光源捕獲整個晶圓表面不同深度的連續圖像。該機器基於RUDOLPH Technologies的專有技術,使用相移幹涉測量(PSI)技術以數字方式檢測使用標準光學系統可能無法檢測到的缺陷和圖像特征。CV 9812可以檢測到小至0.3 um的臨界缺陷,使得晶圓檢查的分辨率比傳統光學工具高200倍。該資產是完全自動化的,可用於各種晶圓類型和材料。該模型還包括為編程和圖像分析提供高級抽象能力的集成軟件。此自動化功能允許快速打印檢測到的缺陷特征,以便於目視檢查。集成軟件還提供圖像分析工具,如掩碼對齊、圖像和特征比較,以及包括掩碼模糊和對比度增強在內的高級成像技術。設備的設計包括超高分辨率成像儀和激光器,允許無損全面的檢查。這不僅允許缺陷檢測,而且允許每個粒子的可視化、打印和分析及其對晶圓的影響。這種控制水平不僅保證了質量控制,還允許開發具體的補救措施來提高晶圓產量。RUDOLPH CV 9812提供了無與倫比的圖像精度和一致性,以及可重復性和可靠性。它是一個堅固而有力的設計系統,具有高度耐用的外殼。通過高分辨率成像、低噪聲成像和集成軟件功能的結合,該單元為掩模和晶圓檢測提供了前所未有的控制水平。
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